天天澡日日澡狠狠欧美老妇_午夜一区欧美二区高清三区_性一交一乱一色一视频_神马影院午夜dy888_国产精品久久久

Product Center
產(chǎn)品中心
首頁 > 產(chǎn)品中心> 半導(dǎo)體行業(yè)> PVD晶圓自動(dòng)倒片機(jī)FST-SC200W

PVD晶圓自動(dòng)倒片機(jī)FST-SC200W

應(yīng)用于LED半導(dǎo)體外延工藝段，可實(shí)現(xiàn)晶圓從原料倉至PVD工序之間以及PVD工序到MOCVD工序之間的周轉(zhuǎn)。主要由Foup交替上料區(qū)、Cassette立體倉儲(chǔ)、機(jī)器人取放盤機(jī)構(gòu)、機(jī)器人自動(dòng)上下片組成。
設(shè)備參數(shù)
類別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍
288pcs/h
產(chǎn)品良率≧99.5%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm，±0.15度以內(nèi)
設(shè)備尺寸L2.8m*W1.5m**H2.45m


設(shè)備優(yōu)勢(shì)

使用場(chǎng)景：外延段PVD工藝生產(chǎn)前后

全自動(dòng)：自動(dòng)上盤、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、同步實(shí)現(xiàn)自動(dòng)下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES

高配置：CCD自動(dòng)檢測(cè)、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測(cè)以及智能化操作系統(tǒng)等

高精度：晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm，±0.15度以內(nèi)

人性化：成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語音提醒，既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

在線留言
  • 企業(yè)名稱：
  • 企業(yè)所屬類型：
  • 姓名：
  • 職務(wù)：
  • 電話：
  • 郵箱：
  • 詳細(xì)需求描述：
    *了解更多我司產(chǎn)品，請(qǐng)?zhí)顚憙?nèi)容，如果有合作機(jī)會(huì)，我們會(huì)在48小時(shí)內(nèi)主動(dòng)與您取得聯(lián)系，謝謝!
驗(yàn)證碼：